旋轉(zhuǎn)涂布機為高精度數(shù)碼控制器的勻膠旋涂儀,非常方便設(shè)定速度和加速度程序段,適用于半導(dǎo)體、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝。還可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學之用。
采用的高速涂布頭,能有效降低氣泡的產(chǎn)生,配置全速自動接膜機構(gòu),張力閉環(huán)自動控制。與普通的上膠涂布機相比有其的優(yōu)點。在逆轉(zhuǎn)輥涂布過程中,如果兩輥間隙比較小,毛細準數(shù)足夠低,也就是在黏度或速度比較小情況下,在比較寬的速度比率范圍內(nèi)的的流動比較穩(wěn)定,能得到比較好的涂布表觀質(zhì)量。如果間隙比較大,在涂布速度較高時,就容易出現(xiàn)空氣夾帶,在涂層表面有許多微小氣泡。
功能特點:
1、采用AC伺服電動機:
2、無刷式,不會造成無塵室污染。
3、減少電動機發(fā)熱,也減少因連續(xù)使用時的溫度上升造成封膜厚再現(xiàn)性的影響。
4、電力消費低,減低環(huán)境的負擔。
5、擴張程式功能:
6、Z多有100階段程式、可記憶10中模式,更容易使用。
7、機型皆標準配備數(shù)位式真空計
8、方形基板等可設(shè)定停止時位置,超方便:
9、安全裝置機構(gòu)(真空壓及蓋子)
10、由于薄膜或晶圓容易破裂,而降低吸附壓力時,可以變更安全裝置機構(gòu)(真空)的稼動壓力。
旋轉(zhuǎn)涂布機在運行過程中常會出現(xiàn)傳動部位磨損的問題,如涂布機烘缸軸頭磨損、卷紙輥軸承室磨損等。傳統(tǒng)的修復(fù)方法有堆焊、熱噴涂、電刷鍍等,不干膠復(fù)合涂布機也都存在一定的弊端:堆焊會使零件表面達到很高溫度,造成變形或裂紋,嚴重時還會導(dǎo)致軸的斷裂;電鍍鍍層不能太厚,且污染嚴重,應(yīng)用也受到了限制。